新京报贝壳财经讯(记者罗亦丹)记者10月10日获悉,长鑫存储4F² DRAM架构研发取得关键进展。该公司总裁曹堪宇博士在第四届集成芯片和芯粒大会上发表演讲,全面介绍了长鑫存储在DRAM器件、4F²架构及混合键合等方向的技术探索与积累,并官宣预计年底将推出融合了上述先进技术的新一代DDR5 RDIMM产品。
据曹堪宇博士介绍,长鑫自成立以来就启动了4F²的研究和专利布局,公开专利族超300件,数量领先海内外厂商。长鑫在2021年发布了大陆首篇4F²架构相关的论文,并在2023年、2025年的两篇论文中分享了在该架构上的研发进展。
在演讲中,曹堪宇博士详细介绍了DRAM的技术发展演进,剖析了6F²和4F²架构的工艺挑战。他表示,长鑫的4F²架构,最核心的特色是在DRAM存储阵列晶体管上的创新,即自研的VSG(Vertical Surrounded Gate)晶体管。VSG晶体管采用了垂直包围沟道结构,能实现更强栅控,解决漏电与短沟道效应痛点,同时竖立的晶体管也助力面积微缩,提升存储密度。
短沟道效应是传统水平结构晶体管随制程微缩必然出现的问题,会导致器件阈值电压漂移、性能不稳定;而漏电问题对DRAM的影响则更为核心:DRAM的存储单元依靠电容存储的电荷多少来区分逻辑“1”和“0”,电容能否留住电荷直接决定了DRAM能不能正常工作。如果漏电过高,电容的电荷会快速流失,还没到定期刷新的时间点,电荷就已经少到无法被正确识别,会直接出现数据错误,甚至引发系统崩溃。为了缓解漏电,行业常规做法是提高数据刷新频率,频繁给电容补充电荷,但刷新操作本身会额外消耗功耗,还会挤占内存读写带宽,拖慢响应速度,反而拉低了内存的整体性能功耗比。
目前DRAM行业内主流的架构是6F²架构。6F² 是衡量 DRAM存储单元面积的一个核心指标。在DRAM芯片设计中,一个存储单元通常由一个晶体管(1T)和一个电容器(1C)组成。F(最小特征尺寸)代表晶圆制造工艺中光刻技术能实现的最小线宽或间距。4F² 意味着每个单元仅占 4 倍最小特征尺寸的平方,因此单位面积内的晶体管数量会增多,实现了存储密度的提升。
从 6F² 到 4F² 的跨越,本质上是晶体管沟道方向从水平布局向竖立布局的根本性变革。这意味着6F²时代的设计和工艺流程无法完全复用,需要整合新一套的工艺流程。据悉,研发过程中,长鑫存储对多项核心工艺流程展开了深度技术探索与突破,全面优化涵盖字线金属化、位线成型以及结激活等关键工艺,以实现最优的性能与功耗比。
编辑 岳彩周
校对 付春愔






